电极的制作方法-镀膜法

电极的制作方法

样品在进行电输运测量前，首先要制作电极，而电极的制作方法和制作质量的不同、会导致接触电阻差异非常大！所以，要格外注意。

电极的制作方法有：导电银胶法、压铟法、镀膜法、点焊法等。下面，我们逐一介绍。

镀膜法

现在有很多种镀金属薄膜的方法，如热蒸发、磁控溅射、电子束蒸发等。在样品上覆盖掩模板,就可以在特定的区域镀上一层金属膜作为样品的电极。

镀膜法的好处是，它可以在真空中完成，因此，样品不会被空气氧化；另外，通过选取合适的金属，可以制作出接触电阻很小的电极；再有，通过精加工的掩模板，可以使电极的形状非常规则。尤其在测量霍尔电压时，这会非常重要。这是因为横向霍尔电压电极的位置是否在等电位上，对减少纵向电阻分量影响至关重要。

镀膜法虽然对工艺要求高一点，但是优点太多，因此越来越多的实验组采用这个方法了。